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日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000

產(chǎn)品簡介

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000
這是一種汽化(氣化)純水和液體材料的汽化系統(tǒng)。采用龍卷風流方式的高效汽化,實現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。該模型非常適合作為“液體材料:半導體工藝中使用的高k材料等"的穩(wěn)定蒸發(fā)系統(tǒng)。通過設置用于載氣控制的質(zhì)量流量控制器和用于測量液體物料流量的質(zhì)量流量計,完成高效的汽化系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號:MV2000
更新時間:2024-11-05
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:223
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日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000

采用龍卷風流方式實現(xiàn)穩(wěn)定 

汽化 高效汽化方式實現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。

即使對于容易熱分解的液體材料也能提高汽化性能。

采用龍卷風流方式的高流量汽化 采用

高效汽化方式,可在與以往產(chǎn)品相同的溫度條件下實現(xiàn)高流量汽化。

相同占地面積內(nèi)的大流量消除了新布局變化的需要。

可以構(gòu)建緊湊的汽化系統(tǒng),并可以進行理想的布局設計。

符合RoHS指令


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