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日本進(jìn)口EBARA荏原干式真空泵EST10N

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本進(jìn)口EBARA荏原干式真空泵EST10N
兼容高溫控制
抽速大
大流量排氣
采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)
能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理
在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz)

提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品型號(hào):現(xiàn)貨
更新時(shí)間:2025-02-22
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:55
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日本進(jìn)口EBARA荏原干式真空泵EST10N

日本進(jìn)口EBARA荏原干式真空泵EST10N

EST 型號(hào)使用螺桿式轉(zhuǎn)子,并配備了高溫功能,可將泵中的氣體保持在高溫下,使其非常適合 CVD 等形成反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。 標(biāo)準(zhǔn)使用耐腐蝕材料,實(shí)現(xiàn)高抽速和高流量泵送,減少停機(jī)時(shí)間并有助于提高工藝效率。

單位EST10N 系列EST25N 系列EST100WNEST200WNEST300WNEST500WNEST800WN
抽速升/分鐘1,0002,50010,00020,00030,00050,00080,000
極限壓力2.70.40.40.40.40.40.5
連接直徑進(jìn)氣口
西北 40西北 40西北 50西北 100西北 100ISO160 認(rèn)證ISO200 認(rèn)證
排氣口
西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40
極限壓力下的近似功率千瓦2.333.23.24.54.64.6
冷卻水流量升/分鐘5~85~85~85~85~85~85~8
溫度°C最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)
注 2流量帕•m3/秒13~1813~1824~2924~2928~3128~3128~31
電源相位/電壓/頻率200V 型號(hào)
三相/200-220V,50/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型號(hào)
三相/380-440V,50/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
-
電源容量千伏安4.67.38.28.512.715.116
近似質(zhì)量公斤260300380430500550840


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