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產(chǎn)品簡介
日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵兼容高溫控制抽速大大流量排氣采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
產(chǎn)品分類
日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵
日本供應(yīng)EBARA荏原EST300WN干式真空泵
EST 型號(hào)使用螺桿式轉(zhuǎn)子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫下，使其非常適合 CVD 等形成反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。 標(biāo)準(zhǔn)使用耐腐蝕材料，實(shí)現(xiàn)高抽速和高流量泵送，減少停機(jī)時(shí)間并有助于提高工藝效率。
| 單位 | EST10N 系列 | EST25N 系列 | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | ||
| 抽速 | 升/分鐘 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 連接直徑 | 進(jìn)氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | 西北 100 | 西北 100 | ISO160 認(rèn)證 | ISO200 認(rèn)證 | |
| 排氣口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 極限壓力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | 最多 30 個(gè) | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號(hào) | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號(hào) | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 電源容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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