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原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵

產(chǎn)品簡介

原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵
干式真空泵,可排出氫氣等輕質(zhì)氣體,可對大腔室進行高速排氣
用于高速排氣的大型真空室
有機溶劑兼容選項
氫氣等輕質(zhì)氣體的排放
耐腐蝕材料選項

提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
研究設(shè)備的理想選擇
特定化學物質(zhì)的吸附

產(chǎn)品型號:北崎
更新時間:2025-02-22
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:48
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原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵 

原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵 

ESA 型號陣容包括排量為 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型號,適用于排氣氫氣等輕質(zhì)氣體,以及排量為 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型號,適用于大室的高速排氣。 適用于低于 10,000 L/min 的輕型氣體排放,提供緊湊的設(shè)計和耐腐蝕材料選項,使其成為 MO-CVD 等高流量輕型氣體排放應(yīng)用的理想選擇。 大型型號盡管排量大,但仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動,并且可以選擇排出有機溶劑的選項,使其成為 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大負載鎖等的理想選擇。

型式単位ESA15-DESA25-DESA25XWESA70W(-D)ESA70WN(-D)ESA80W-HDFESA80WN-HDFESA100WESA100WNESA200WESA300WESA500WESA700W
排気速度L/min1,400 (50Hz)2,500 (50Hz)5,000 (50Hz)7,000 (50Hz)7,000 (50Hz)8,400 (50Hz/60Hz)8,400 (50Hz/60Hz)10,000 (50Hz/60Hz)10,000 (50Hz/60Hz)20,000 (50Hz/60Hz)28,000 (50Hz)47,000 (50Hz)80,000 (50Hz/60Hz)
1,700 (60Hz)3,000 (60Hz)6,000 (60Hz)8,400 (60Hz)8,400 (60Hz)30,000 (60Hz)50,000 (60Hz)
到達圧力Pa400 (50Hz)5.3 (50Hz)5.3 (50Hz)0.27 (50Hz)0.4 (50Hz)0.130.270.130.270.530.530.530.5
270 (60Hz)4.0 (60Hz)4.0 (60Hz)0.13 (60Hz)0.27 (60Hz)
接続口徑吸気口
NW40NW50ISO80NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80ISO100ISO160ISO160
排気口
NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW50
到達圧力時電力概略値kW2.9 (50Hz)2.6 (50Hz)5.2 (50Hz)3.6 (50Hz)3.6 (50Hz)4.24.24.94.93.2 (50Hz)6.6 (50Hz)5.1 (50Hz)7.4
3.2 (60Hz)2.9 (60Hz)5.8 (60Hz)4.0 (60Hz)4.0 (60Hz)3.4 (60Hz)7.3 (60Hz)6.7 (60Hz)
冷卻水流量L/min3.5~83.5~87~163.5~83.5~83.5~83.5~83.5~83.5~83.5~86~96~96~9
溫度Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30
N2流量Pa•m3/s14~17 (4.6)17~20 (3.8)34~4024~27 (4.7)24~27 (4.7)54~5754~5754~5754~4517~20 (3.8)7.5~10.58.5~118.5~11
電源 相/電圧/周波數(shù)200Vモデル
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400Vモデル
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
-
460Vモデル










3相/440V/50Hz
3相/440-480V/60Hz
3相/440V/50Hz
3相/440-480V/60Hz
3相/440V/50Hz
3相/440-480V/60Hz
電源容量kVA6.46.412.810.310.312.612.612.612.61223.741.346.5
概略質(zhì)量kg2402404803803804004004004004107007501200


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