原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵

產(chǎn)品簡介
原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵
干式真空泵，可排出氫氣等輕質(zhì)氣體，可對大腔室進行高速排氣
用于高速排氣的大型真空室
有機溶劑兼容選項
氫氣等輕質(zhì)氣體的排放
耐腐蝕材料選項
油
提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL
研究設(shè)備的理想選擇
特定化學物質(zhì)的吸附

產(chǎn)品型號：北崎

更新時間：2025-02-22

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：48

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

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原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵

ESA 型號陣容包括排量為 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型號，適用于排氣氫氣等輕質(zhì)氣體，以及排量為 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型號，適用于大室的高速排氣。適用于低于 10,000 L/min 的輕型氣體排放，提供緊湊的設(shè)計和耐腐蝕材料選項，使其成為 MO-CVD 等高流量輕型氣體排放應(yīng)用的理想選擇。大型型號盡管排量大，但仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動，并且可以選擇排出有機溶劑的選項，使其成為 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大負載鎖等的理想選擇。

型式

単位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

排気速度

L/min

1,400 (50Hz)

2,500 (50Hz)

5,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)

47,000 (50Hz)

80,000 (50Hz/60Hz)

1,700 (60Hz)

3,000 (60Hz)

6,000 (60Hz)

8,400 (60Hz)

30,000 (60Hz)

50,000 (60Hz)

到達圧力

400 (50Hz)

5.3 (50Hz)

0.27 (50Hz)

0.4 (50Hz)

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

270 (60Hz)

4.0 (60Hz)

0.13 (60Hz)

0.27 (60Hz)

接続口徑

吸気口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排気口

NW40

NW50

到達圧力時電力概略値

2.9 (50Hz)

2.6 (50Hz)

5.2 (50Hz)

3.6 (50Hz)

4.2

4.9

3.2 (50Hz)

6.6 (50Hz)

5.1 (50Hz)

7.4

3.2 (60Hz)

2.9 (60Hz)

5.8 (60Hz)

4.0 (60Hz)

3.4 (60Hz)

7.3 (60Hz)

6.7 (60Hz)

冷卻水

流量

L/min

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

溫度

℃

Max. 30

流量

Pa•m3/s

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

54~57

54~45

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

電源　相／電圧／周波數(shù)

200Vモデル

3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz

400Vモデル

3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz

460Vモデル

3相/440V/50Hz
3相/440-480V/60Hz

電源容量

kVA

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

概略質(zhì)量

240

480

380

400

410

700

750

1200

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